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系統(tǒng)由中央純水設(shè)備、純水系統(tǒng)管網(wǎng)、終端純水取水點(diǎn)、終端超純水設(shè)備組成，系統(tǒng)主機(jī)采用一備一用，可同時制水、不間斷供水，純水電導(dǎo)率≤5μS/cm(25℃)達(dá)到三級水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)，超純水電阻率≥18 M?.cm@25℃，達(dá)到高純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。